Blocked isocyanato bearing silicon containing composition for the formation of resist undercoat

WO2009069712 Art A1 4. Juni 2009

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009069712
Aktenzeichen
EP08854850
Anmeldetag
27. November 2008
Veröffentlichung
4. Juni 2009
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/11H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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