Bevel Plasma Treatment To Enhance Wet Edge Clean

WO2009070216 Art A1 4. Juni 2009

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009070216
Aktenzeichen: EP08855098
Anmeldetag: 13. November 2008
Veröffentlichung: 4. Juni 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/302H01L21/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von