A method for chemically-mechanically polishing patterned surfaces composed of metallic and nonmetallic patterned regions

WO2009071351 Art A1 11. Juni 2009

Anmelder: BASF SE, Clarkson University 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009071351
Aktenzeichen: EP08804382
Anmeldetag: 18. September 2008
Veröffentlichung: 11. Juni 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C09G1/02H01L21/321

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: BASF SE
Clarkson University
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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