Vorrichtung und Verfahren zur Bearbeitung von Optischen Elementen mittels Laserablation

WO2009071421 Art A1 11. Juni 2009

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009071421
Aktenzeichen: EP08857270
Anmeldetag: 11. November 2008
Veröffentlichung: 11. Juni 2009
Rechtsraum: WO
IPC: B23K26/36B23K26/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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