Method of removing resist and apparatus therefor

WO2009072402 Art A1 11. Juni 2009

Anmelder: Meidensha Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009072402
Aktenzeichen: EP08856927
Anmeldetag: 20. November 2008
Veröffentlichung: 11. Juni 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Meidensha Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Meidensha

Meidensha ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Maschinen, unter anderem für Energieversorgung, Bahntechnik und Industrieanwendungen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf elektrische Energietechnik sowie Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiter und elektrische Bauelemente. Anmeldungen laufen durchgehend von 2004 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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