Method for forming protective film

WO2009072546 Art A1 11. Juni 2009

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009072546
Aktenzeichen
EP08856950
Anmeldetag
4. Dezember 2008
Veröffentlichung
11. Juni 2009
Rechtsraum
WO
IPC
C25D11/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ulvac, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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