Silicon substrate and method for manufacturing the same

WO2009075288 Art A1 18. Juni 2009

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009075288
Aktenzeichen
EP08858421
Anmeldetag
10. Dezember 2008
Veröffentlichung
18. Juni 2009
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/322C30B29/06H01L27/148
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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