Novel sulfonate and radiation-sensitive resin composition

WO2009078335 Art A1 25. Juni 2009

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009078335
Aktenzeichen: EP08862760
Anmeldetag: 11. Dezember 2008
Veröffentlichung: 25. Juni 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C07C309/31C07C309/06C07C381/12G03F7/004G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Organische Chemie

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