Density multiplication and improved lithography by directed block copolymer assembly

WO2009079241 Art A2 25. Juni 2009

Anmelder: Wisconsin Alumni Research Foundation, Hitachi Global Storage Technologies, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009079241
Aktenzeichen: EP08861667
Anmeldetag: 5. Dezember 2008
Veröffentlichung: 25. Juni 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G11B5/855

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Wisconsin Alumni Research Foundation
Hitachi Global Storage Technologies, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Wisconsin Alumni Research Foundation

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Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Optik & Fototechnik

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