Methods and apparatuses for controlling contamination of substrates
WO2009079636
Art A2
25. Juni 2009
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009079636
- Aktenzeichen
- EP08862512
- Anmeldetag
- 18. Dezember 2008
- Veröffentlichung
- 25. Juni 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B65H43/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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