Method of manufacturing semiconductor substrate

WO2009080177 Art A1 2. Juli 2009

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009080177
Aktenzeichen
EP08865779
Anmeldetag
3. Dezember 2008
Veröffentlichung
2. Juli 2009
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/265H01L21/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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