Low decomposition storage of a tantalum precursor

WO2009081380 Art A2 2. Juli 2009

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009081380
Aktenzeichen: EP08865530
Anmeldetag: 22. Dezember 2008
Veröffentlichung: 2. Juli 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/34C23C16/448B65D85/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik

Vertreten von