Germanium precursors for gst film deposition

WO2009081383 Art A1 2. Juli 2009

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009081383
Aktenzeichen
EP08865383
Anmeldetag
23. Dezember 2008
Veröffentlichung
2. Juli 2009
Rechtsraum
WO
IPC
C07F7/30C23C16/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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