Band-saw cutting apparatus, and cutting method

WO2009081524 Art A1 2. Juli 2009

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009081524
Aktenzeichen
EP08863959
Anmeldetag
1. Dezember 2008
Veröffentlichung
2. Juli 2009
Rechtsraum
WO
IPC
B28D5/04B24B27/06B26D1/54H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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