Process monitoring apparatus and method

WO2009082109 Art A2 2. Juli 2009

Anmelder: Korea Research Institute of Standards and Science, Chung, Chin-Wook 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009082109
Aktenzeichen: EP08864947
Anmeldetag: 12. Dezember 2008
Veröffentlichung: 2. Juli 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Korea Research Institute of Standards and Science
Chung, Chin-Wook
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Research Institute of Standards and Science

Der Anmelder ist ein südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut für Metrologie mit Sitz in Daejeon, bekannt als KRISS. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiterbauelemente, Software und Medizintechnik. Anmeldungen laufen seit 2002 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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