Method for aligning and bonding elements and a device comprising aligned and bonded elements

WO2009083582 Art A1 9. Juli 2009

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009083582
Aktenzeichen
EP08869108
Anmeldetag
29. Dezember 2008
Veröffentlichung
9. Juli 2009
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/98H01L21/60H01L25/065F16B19/08F16B19/10H01H1/04H01H11/04H01L23/48H01L25/07H01R4/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

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