Method for processing substrate, program, computer storage medium, and substrate processing system

WO2009084279 Art A1 9. Juli 2009

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009084279
Aktenzeichen: EP08866891
Anmeldetag: 2. September 2008
Veröffentlichung: 9. Juli 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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