Process for producing thin film of a-igzo oxide

WO2009084537 Art A1 9. Juli 2009

Anmelder: Nippon Mining & Metals Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009084537
Aktenzeichen
EP08866320
Anmeldetag
24. Dezember 2008
Veröffentlichung
9. Juli 2009
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/08C04B35/00C23C14/34G02F1/1368H01L21/336H01L21/363H01L29/786
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nippon Mining & Metals Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nippon Mining & Metals

Nippon Mining & Metals war ein japanisches Unternehmen für Metallverarbeitung und Halbleitermaterialien, heute Teil von JX Nippon Mining & Metals. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Fertigungs- und Chemietechnik. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus den Jahren 2000 bis 2010 und betreffen unter anderem Kupferfolienverbundstoffe.

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