Member coated with aluminum nitride by thermal spraying and process for producing the same

WO2009084606 Art A1 9. Juli 2009

Anmelder: Tosoh Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009084606
Aktenzeichen: EP08866876
Anmeldetag: 25. Dezember 2008
Veröffentlichung: 9. Juli 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C23C4/10C23C4/12H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tosoh Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tosoh Corporation

Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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