Erosion resistant yttrium comprising metal with oxidized coating for plasma chamber components

WO2009085117 Art A2 9. Juli 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009085117
Aktenzeichen: EP08866505
Anmeldetag: 10. Dezember 2008
Veröffentlichung: 9. Juli 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/16H01L21/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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