Self-powered lithography method and apparatus using radioactive thin films

WO2009085240 Art A2 9. Juli 2009

Anmelder: Cornell Research Foundation, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009085240
Aktenzeichen: EP08866903
Anmeldetag: 22. Dezember 2008
Veröffentlichung: 9. Juli 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cornell Research Foundation, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cornell Research Foundation

Der Anmelder ist die Technologietransfer-Organisation der Cornell University in den USA und verwaltet deren Patentportfolio. Die Anmeldungen konzentrieren sich auf Medizintechnik und Pharma sowie auf organische Chemie und Landwirtschaftstechnik. Der Aktivitätszeitraum reicht von 2000 bis 2011.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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