Ingot cutting apparatus and cutting method

WO2009087723 Art A1 16. Juli 2009

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009087723
Aktenzeichen
EP08870228
Anmeldetag
18. Dezember 2008
Veröffentlichung
16. Juli 2009
Rechtsraum
WO
IPC
B28D7/04B28D5/04H01L21/304B24B27/06C30B35/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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