Spatial light modulator, illumination optical system, aligner, and device manufacturing method

WO2009087805 Art A1 16. Juli 2009

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009087805
Aktenzeichen: EP08869758
Anmeldetag: 4. November 2008
Veröffentlichung: 16. Juli 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/08G02B5/08G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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