Composition having urea group for forming silicon-containing resist underlying film

WO2009088039 Art A1 16. Juli 2009

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009088039
Aktenzeichen: EP09700651
Anmeldetag: 8. Januar 2009
Veröffentlichung: 16. Juli 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/11C08G77/26C08L83/08G03F7/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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