Megasonic cleaning with controlled boundary layer thickness and associated systems and methods

WO2009088644 Art A1 16. Juli 2009

Anmelder: Micron Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009088644
Aktenzeichen: EP08870207
Anmeldetag: 12. Dezember 2008
Veröffentlichung: 16. Juli 2009
Rechtsraum: WO
IPC: B08B3/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Micron Technology, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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