Composition and method for polishing nickel-phosphorous-coated aluminum hard disks
WO2009089026
Art A2
16. Juli 2009
Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009089026
- Aktenzeichen
- EP09700254
- Anmeldetag
- 8. Januar 2009
- Veröffentlichung
- 16. Juli 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G11B5/84H01L21/30C09K3/14B24B37/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Cabot Microelectronics Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cabot Microelectronics
Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.
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