Composition and method for polishing nickel-phosphorous-coated aluminum hard disks

WO2009089026 Art A2 16. Juli 2009

Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009089026
Aktenzeichen
EP09700254
Anmeldetag
8. Januar 2009
Veröffentlichung
16. Juli 2009
Rechtsraum
WO
IPC
G11B5/84H01L21/30C09K3/14B24B37/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cabot Microelectronics Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

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