Functionalized fullerenes for nanolithography applications

WO2009089158 Art A2 16. Juli 2009

Anmelder: University of Florida Research Foundation, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009089158
Aktenzeichen: EP09700475
Anmeldetag: 5. Januar 2009
Veröffentlichung: 16. Juli 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: University of Florida Research Foundation, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Florida Research Foundation

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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