Multibeam system

WO2009089499 Art A2 16. Juli 2009

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009089499
Aktenzeichen: EP09701052
Anmeldetag: 9. Januar 2009
Veröffentlichung: 16. Juli 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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