Method for treating germanium surfaces and solutions to be employed therein

WO2009090454 Art A2 23. Juli 2009

Anmelder: S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009090454
Aktenzeichen
EP08870914
Anmeldetag
5. November 2008
Veröffentlichung
23. Juli 2009
Rechtsraum
WO
IPC
G01N1/32H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies

S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies war ein französischer Hersteller von Silizium-auf-Isolator-Wafern für die Halbleiterindustrie, das heutige Unternehmen firmiert als Soitec. Der Patentbestand konzentriert sich fast ausschließlich auf Halbleiterbauelemente und Waferbondverfahren.

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