Stage for substrate temperature control apparatus

WO2009090816 Art A1 23. Juli 2009

Anmelder: Komatsu Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009090816
Aktenzeichen
EP08871026
Anmeldetag
15. Dezember 2008
Veröffentlichung
23. Juli 2009
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/027H01L21/02H05B3/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Komatsu Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Komatsu

Komatsu ist ein japanischer Hersteller von Baumaschinen, Bergbaugeräten und Industrieausrüstung mit Sitz in Tokio.

2.785 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

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