Process for producing compound semiconductor substrate, compound semiconductor substrate, and light emitting element

WO2009093418 Art A1 30. Juli 2009

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009093418
Aktenzeichen
EP09703467
Anmeldetag
14. Januar 2009
Veröffentlichung
30. Juli 2009
Rechtsraum
WO
IPC
H01L33/00H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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