Resin for chemically amplified photoresist and method for producing the same

WO2009093419 Art A1 30. Juli 2009

Anmelder: Daicel Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009093419
Aktenzeichen: EP09704116
Anmeldetag: 14. Januar 2009
Veröffentlichung: 30. Juli 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C08F8/00G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Daicel Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Daicel Chemical Industries

Daicel Chemical Industries, heute Daicel Corporation, ist ein japanischer Chemiekonzern mit Schwerpunkt auf Kunststoffen, Zelluloseprodukten und Airbag-Systemen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Kunststoff- und Polymertechnik sowie organische Chemie, ergänzt durch Fahrzeugtechnik. Anmeldungen stammen aus dem Zeitraum 2000 bis 2011.

590 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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