Insulating film material, film forming method using the insulating film material, and insulating film

WO2009093581 Art A1 30. Juli 2009

Anmelder: National Institute for Materials Science, Taiyo Nippon Sanso Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009093581
Aktenzeichen: EP09703593
Anmeldetag: 20. Januar 2009
Veröffentlichung: 30. Juli 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/42C07F7/08C23C16/509H01L21/312

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: National Institute for Materials Science
Taiyo Nippon Sanso Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute for Materials Science

Japanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Tsukuba, das auf Materialwissenschaft und Werkstoffforschung spezialisiert ist.

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🇯🇵 Taiyo Nippon Sanso

Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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