Highly clean and hot valve

WO2009093608 Art A1 30. Juli 2009

Anmelder: Ham-Let Motoyama Japan Ltd., Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009093608
Aktenzeichen: EP09704912
Anmeldetag: 21. Januar 2009
Veröffentlichung: 30. Juli 2009
Rechtsraum: WO
IPC: F16K31/126F16K1/00F16K7/17F16K41/10F16K49/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Ham-Let Motoyama Japan Ltd.
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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