Method for defining and producing reactive chemical nanomemtric surface patterns by means of gaseous-phase soft lithography, resulting patterns and devices and uses thereof

WO2009095520 Art A1 6. August 2009

Anmelder: Consejo Superior De Investigaciones Científicas 🇪🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009095520
Aktenzeichen
EP09706017
Anmeldetag
23. Januar 2009
Veröffentlichung
6. August 2009
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/00B41M3/00B81C1/00C12Q1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Consejo Superior De Investigaciones Científicas
Land
🇪🇸 Spanien
🇪🇸 Consejo Superior de Investigaciones Científicas

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