Magnetic device manufacturing method

WO2009096328 Art A1 6. August 2009

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009096328
Aktenzeichen
EP09705422
Anmeldetag
23. Januar 2009
Veröffentlichung
6. August 2009
Rechtsraum
WO
IPC
G11B5/84G11B5/31G11B5/855H01F41/34H01L21/8246H01L27/105H01L43/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ulvac, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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