Magnetic device manufacturing method
WO2009096328
Art A1
6. August 2009
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009096328
- Aktenzeichen
- EP09705422
- Anmeldetag
- 23. Januar 2009
- Veröffentlichung
- 6. August 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G11B5/84G11B5/31G11B5/855H01F41/34H01L21/8246H01L27/105H01L43/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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