Microscope and aberration correction controlling device

WO2009096522 Art A1 6. August 2009

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009096522
Aktenzeichen
EP09705075
Anmeldetag
30. Januar 2009
Veröffentlichung
6. August 2009
Rechtsraum
WO
IPC
G02B21/00G02B21/06G02B21/18G02B21/28G02B21/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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