Zno substrate, method for processing zno substrate, and zno semiconductor device
WO2009096530
Art A1
6. August 2009
Anmelder: Rohm Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009096530
- Aktenzeichen
- EP09706464
- Anmeldetag
- 30. Januar 2009
- Veröffentlichung
- 6. August 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C30B29/22H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Rohm Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Rohm
Japanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kyoto, spezialisiert auf integrierte Schaltkreise, diskrete Halbleiterbauelemente und Leistungshalbleiter (unter anderem Siliziumkarbid-Bauteile).
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