System and method for pre-ionization of surface wave launched plasma discharge sources

WO2009096951 Art A1 6. August 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009096951
Aktenzeichen
EP08728496
Anmeldetag
30. Januar 2008
Veröffentlichung
6. August 2009
Rechtsraum
WO
IPC
A62D3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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