Aqueous dispersion for chemical mechanical polishing, kit for preparing the dispersion, method for preparing aqueous dispersion for chemical mechanical polishing using the kit, and chemical mechanical polishing method for semiconductor device

WO2009098951 Art A1 13. August 2009

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009098951
Aktenzeichen: EP09708149
Anmeldetag: 23. Januar 2009
Veröffentlichung: 13. August 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B24B37/00C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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