Methods and apparatus for operating an electronic device manufacturing system

WO2009100163 Art A1 13. August 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009100163
Aktenzeichen: EP09709410
Anmeldetag: 4. Februar 2009
Veröffentlichung: 13. August 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G05B19/418G05B19/05

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von