Low-Voltage Field Emission Scanning Electron Microscope

WO2009100753 Art A1 20. August 2009

Anmelder: ETH Zurich 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009100753
Aktenzeichen: EP08872390
Anmeldetag: 22. Dezember 2008
Veröffentlichung: 20. August 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/285H01J37/28H01J37/244H01J37/06G21K1/16H01J3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ETH Zurich
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 ETH Zürich

Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, Schweizer Hochschule mit Forschungsschwerpunkten in Natur-, Ingenieur- und Materialwissenschaften.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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