Cylindrical grinding equipment and grinding method

WO2009101761 Art A1 20. August 2009

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009101761
Aktenzeichen
EP09709985
Anmeldetag
21. Januar 2009
Veröffentlichung
20. August 2009
Rechtsraum
WO
IPC
B24B41/06B24B5/04B28D5/02H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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