Silica-titania glass, process for production thereof, and method for measuring coefficient of linear thermal expansion

WO2009101949 Art A1 20. August 2009

Anmelder: Tohoku University, Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009101949
Aktenzeichen: EP09710636
Anmeldetag: 12. Februar 2009
Veröffentlichung: 20. August 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C03C3/06G02B1/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tohoku University
Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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