Process for embedding metal and equipment for depositing metal in recesses

WO2009102056 Art A1 20. August 2009

Anmelder: Canon Anelva Corporation, Noda, Suguru 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009102056
Aktenzeichen: EP09711444
Anmeldetag: 16. Februar 2009
Veröffentlichung: 20. August 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/285C23C14/14C23C14/34H01L21/28H01L21/3205H01L23/52

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Canon Anelva Corporation
Noda, Suguru
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

421 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von