Apparatus for measuring beam characteristics and a method thereof

WO2009102875 Art A2 20. August 2009

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009102875
Aktenzeichen: EP09710715
Anmeldetag: 12. Februar 2009
Veröffentlichung: 20. August 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/265H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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