Method and apparatus for cutting substrate
WO2009104364
Art A1
27. August 2009
Anmelder: Towa Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009104364
- Aktenzeichen
- EP09713050
- Anmeldetag
- 6. Februar 2009
- Veröffentlichung
- 27. August 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/56H01L21/301H01L23/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Towa Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Towa
Towa ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterverpackung, insbesondere Formmaschinen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente und Kunststofftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen unter anderem Schneidvorrichtungen und -verfahren für gefertigte Bauteile.
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