Thin film and method for manufacturing semiconductor device using the thin film

WO2009104507 Art A1 27. August 2009

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009104507
Aktenzeichen: EP09711558
Anmeldetag: 12. Februar 2009
Veröffentlichung: 27. August 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/316C23C16/42H01L21/28H01L21/336H01L21/768H01L21/8238H01L27/092H01L29/78H01L29/786

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von