Method for manufacturing probe supporting plate, computer storage medium and probe supporting plate

WO2009104589 Art A1 27. August 2009

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009104589
Aktenzeichen: EP09713485
Anmeldetag: 17. Februar 2009
Veröffentlichung: 27. August 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G01R1/073

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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