Radiation-sensitive resin composition, cured product thereof, interlayer insulating film using the composition, and optical device
WO2009104680
Art A1
27. August 2009
Anmelder: Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009104680
- Aktenzeichen
- EP09712161
- Anmeldetag
- 19. Februar 2009
- Veröffentlichung
- 27. August 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/075C08G59/32G02F1/1333G03F7/004G03F7/038H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nippon Kayaku
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Spezialchemikalien, Pharmazeutika und Farbstoffe.
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